|
SI/SIC晶圆缺陷检测SLN-WWS-009系列●支持有图形/无图形缺陷检测； ●支持明场/暗场缺陷检测模式； ●多种算法联合检测，配备AI深度学习及ADC功能； ● 兼容Open Cassette/FOUP/FOSB自动上下料； ●支持OHT/AGV自动传输； ● 支持SECS/GEM& E84(OHT)通讯协议； ●最小可支持100nm级晶圆外观缺陷检测，关键尺寸(CD)量测; ●缺陷检测：检出率≥98%,过检率≤2%,重复重现性≥98%； 
收藏
|
